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    光伏新能源硅片潔凈室解決方案

    發布日期:2022-05-04 03:49:37 瀏覽次數:3268

    光伏新能源硅片是以硅材料制成的鏡面狀硅片,是半導體集成電路芯片生產的原材料。實驗室凈化無菌試驗室-潔凈實驗室-生物安全實驗室的建設方案包括:建筑布局和裝修、空氣調節、給排水、氣體供應、電氣設計、集中控制、安防、施工工藝、檢測、培訓等多方面內容。目前,隨著微電子工業的快速發展,集成電路技術已進入不到0.18微米的時代,極大地刺激了新型光伏能源硅片的發展。同時,對新型光伏能源硅片性能參數的要求也得到了很大的提高。因此,新型光伏能源硅片的發展前景十分樂觀。

    光伏新能源硅波形的生產工藝

    光電新能源硅片生產包括兩個主要部分:硅單晶棒生產和光伏新能硅片生產,分為以下幾個主要過程:

    單晶棒生長 - 單晶棒切割和檢驗 - 外徑研磨 - 切片 - 倒角(圓邊) - 研磨/研磨片檢測 - 蝕刻(化學蝕刻,LP-CVD + AP-CVD等) - PTA熱處理 - 背部損傷處理 - 拋光(ML粗拋,ML精拋) - 清洗 - 質量檢驗 - 清潔包裝

    從單晶棒的生長到外徑磨削再到硅單晶棒的生產過程,切片后的過程是光伏新能源硅片的生產工藝。以日本某硅片廠為例,介紹了光伏新能源硅片生產過程中空調凈化系統和自動控制系統的設計方案。

    每個生產過程的環境控制要求

    一家硅片廠生產4-6英寸光伏新能源硅片,年產量480萬片。該公司的新型光伏能源硅片用于制造分立器件、功率元件和特殊集成電路。

    正文

    二、空調凈化系統

    空調凈化的設計與工藝的布置和生產工藝密切相關。工廠空調凈化系統的不同類型和不同用途都有自己的特點。介紹了光伏新能源硅片生產工藝的空調凈化系統方案。

    2.1 空調系統

    1切片室,倒角室和研磨室僅具有溫度控制要求。風冷式熱泵分體式空調(PAC)用于確保室溫要求。室內機放置在車間,使用風道。層百葉風口側供氣模式;室外單元放在屋頂上。切片室的風量大,新鮮空氣由直接蒸發式熱泵式屋頂空調器S1-1和S1-2補充。車間具有防塵要求。風冷式熱泵分體式空調器在回風時具有中效過濾器(空氣塵埃計數效率:60%,1μm顆粒)。同樣的屋頂式空調需要兩級過濾器。

    其原理圖見圖:

    2爐房,BSD室只有溫控要求

    采用空冷電加熱分體式空調(PAL)來保證室溫.室內單元放置在車間附近,空氣接收管安裝在空氣接收管附近。室外單元放在屋頂上。新鮮空氣來自鄰近潔凈室的正壓力。車間有防塵要求,空冷電加熱分體式空調回風口設有中效過濾器(空氣粉塵計數效率:60%,適用于1米)。

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